PECVD中射频发生器为什么会有反射损耗，阻抗匹配的原理是什么？
PECVD中射频发生器为什么会有反射损耗，阻抗匹配的原理是什么？
要了解pECVD反射损耗，就要了解PECVD(等离子体增强气相沉积)的实质，表面由减反射膜和钝化薄膜组成，反射膜与其厚度的乘积等于四分之一入射波长，第二界面反回第一界面反射光相位相差为180度，形成相消干涉，如果控制反射率与厚度乘积等于太阳光最强的蓝光波长的四分之一左右就可增加半导体对太阳光的吸收作用。
其抗匹配原理根据用户负荷变化而调节自身的电容或电感，达到阻抗匹配的目的，以减少反射的目的。
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